集成电路测量装备研究中心管理委员会第一次会议召开

作者:朱金龙编辑:吴仰天发布:2024-04-28点击量:

423日,我校集成电路测量装备研究中心(以下简称研究中心)管理委员会第一次会议在开元体育·(中国)官方网站召开。开元体育·(中国)官方网站副院长陶波,校科学技术发展院副处长刘爽,校发展规划与学科建设处副处长李涛,物理学院副院长吴庆文,光电学院副院长费鹏,集成电路学院副院长刘欢,开元体育·(中国)官方网站院长助理夏凉、机械电子信息工程系主任夏奇等管理委员会成员及代表、研究中心科研团队成员参会。

管委会主任陶波介绍了研究中心前期筹备工作,团队的工作基础,以及机械学院提供的条件保障情况。希望研究中心做好规范化管理工作,细化共建学院的目标任务,做好有组织科研。

刘爽表示,研究中心要学习和落实学校对校内自主科研机构规范管理的要求,依托学院、共建学院履行职责,共同支持研究中心发展。

研究中心主任、开元体育·(中国)官方网站机械电子信息工程系教授刘世元汇报了2023年度承担的重大项目、技术研发工作进展及合作交流情况,介绍了研究中心2024年度工作任务及存在的问题困难。

管委会成员展开讨论,充分肯定2023年取得的工作进展,并指出,研究中心要做好有组织科研,积极组织校内多学科交流;依托平台争取更多的内外部资源,结合学院、学校及企业各方力量,全力推动集成电路量检测技术与装备的发展;成员单位全力配合,共同解决团队未来发展的问题。

集成电路制造是重要战略产业,其在线尺寸测量与缺陷检测装备几乎被国外垄断。经学校研究,机械学院为依托学院,物理学院、光电学院、集成电路学院为共建学院,共同组成集成电路测量装备交叉学科科研团队,成立战略类校级自主设立科研机构“集成电路测量装备研究中心”。研究中心主要研究方向为面向集成电路制造的纳米薄膜、关键尺寸、套刻误差测量技术与装备,晶圆缺陷检测技术与装备,超连续谱可见光、极紫外、深紫外等高亮度桌面型光源,极紫外掩模缺陷跨尺度检测技术与装备。

(摄影/刘佳敏)

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